ICP炬管是由三支同心石英管組成的，也都有三個進(jìn)氣管，分別進(jìn)三股氣流：冷卻氣、輔助氣及載氣。冷卻氣又稱為等離子氣。載氣又稱為進(jìn)樣氣或霧化氣，它把試液霧化并把氣溶膠送入ICP光源。理想的ICP應(yīng)該易點(diǎn)燃，節(jié)省工作氣體及炬焰穩(wěn)定。通用的ICP不足之處是耗氣量，如果降低冷卻氣流量又容易燒毀。只有保持高頻輸入功率和等離子體消耗能量之間平衡，ICP炬焰才能穩(wěn)定。

雙通霧室 霧室利用霧化氣溶膠的動能高效快速地清除掉液滴，同時減了液滴凝結(jié)的可能。與其它霧室設(shè)計相比，具有效率高、精密度好、沖洗速度快的特點(diǎn)。 *安裝簡單，使用方便 *體積，便于排空，記憶效應(yīng)低

旋流霧室 霧室利用霧化氣溶膠的動能高效快速地清除掉液滴，同時減了液滴凝結(jié)的可能。與其它霧室設(shè)計相比，具有效率高、精密度好、沖洗速度快的特點(diǎn)。 *安裝簡單，使用方便 *體積，便于排空，記憶效應(yīng)低

復(fù)合霧室 霧室利用霧化氣溶膠的動能高效快速地清除掉液滴，同時減了液滴凝結(jié)的可能。與其它霧室設(shè)計相比，具有效率高、精密度好、沖洗速度快的特點(diǎn)。 *安裝簡單，使用方便 *體積，便于排空，記憶效應(yīng)低

噴霧器 ICP具有靈敏度高、精度好等突出優(yōu)點(diǎn) ICP霧化器具有的使用效率