光譜儀特點：1、射頻發(fā)生器的高壓供電回路，采用的電子技術(shù)，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈，采用功率閉環(huán)反饋技術(shù)，控制精度于0.1% 2、全自動點火 氣路智能控制，實現(xiàn)軟件點火，更方便3.安全冷卻水保護、氬氣保護、過壓、過流、滅弧保護更安全4.輸出功率自動匹配調(diào)諧，功率參數(shù)軟件程序設(shè)定5.分光器內(nèi)充氬氣，使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的效果